Y2O3 이트륨옥사이드 박막 필름 증착 참고

이트륨 산화물은 Y 2 O 3 의 화학식을 갖는 화합물입니다 . 흰색을 띠며 융점은 2,410°C, 밀도는 5.01g/cc, 증기압은 ~2,000°C 에서 10 -4 Torr입니다. 가장 중요한 이트륨 화합물로 간주됩니다. 이트륨 산화물은 텔레비전에서 빨간색을 제공하는 형광체를 만드는 데 사용되며 이트륨 철 가넷은 마이크로파 필터의 중요한 요소입니다. 반도체 및 수동 부품 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 스퍼터 방식으로 증착이 가능하며, 리엑티브 스퍼터링으로 증착을 하기도 합니다. 최대 전력 밀도는 인치당 20W 정도입니다. 써멀 증착은 이론적으로 어렵습니다. 써멀을 사용하기 위해서는 두꺼운 텅스텐 보트를 사용하는 것이 유리합니다. 산소의 분압이 어느 정도 있어야 제대로 된 박막을 얻을 수 있습니..

2024.02.29