에이질런트 티타늄이온승화펌프(TSP) 컨트롤러 시리얼 통신
초고진공 배기 영역에서 꼭 필요한 펌프가 이온펌프 입니다. 그리고, 이온펌프에 꼭 있어야 하는 것이 TSP이고요. 이온펌프는 여러 메이커가 있지만, 그 구조는 차이가 크게 없습니다. 저는 주로 에이질런트 제품을 사용하는데, 에이질런트 이온펌프와 TSP 컨트롤러가 인증이 있어서 납품하고 서류 처리하는데 편하더군요. 뭐 특별히 성능면에서 고려하고 사용하지는 않았습니다. 아무래도 메이저 메이커니까 기타 다른 메이커보다 성능도 우수하다고 봅니다. 최근에 TSP를 자동으로 동작할 필요가 있어서 프로그램을 작성하려다 보니, CRC계산을 해야 하더군요. 굉장히 불편합니다. 그냥 켜고 끄기만 하면 되는데요. CRC 계산은 다음과 같습니다. 간단한 명령어 예제를 보면, CRC= hADDR XOR..
2021.06.11