크라이오 펌프 설치 할 때 주의 할 점

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다.

 

보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다.

 

그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다.

참고 사이트 : 한국알박

https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085

[CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2

 

복사열에 의한 열부하 계산식

수냉 배블의 경우에는 냉각수라인을 유지하기 위한 별도의 구조물이 필요하여 불편하고, L보의 경우에는 컨덕턴스가 증가하여 펌핑 성능이 일정 수준 저하되는 것을 감수해야 한다.