크라이오 펌프 재생이 필요한 시점은 언제일까?

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다.

이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다.

 

1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우.

2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우.

3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우.

4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우.

 

배기 순서(참고 한국알박)

참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다.

응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초기 배기 속도의 80% 저하시까지 측정 한다.

 

크라이오 펌프 구조(참고 한국알박)

https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221399763954

[CRYO PUMP] 크라이오 펌프 기초 이론 2

 

크라이오 펌프 설치시 복사열에 대한 주의 사항 : 펌프를 설치 할 때 복사열에 직접 노출되어 가열되는 위치에 설치 되어서는 안된다.