스퍼터 전극 부분에 결로 현상이 생기면

플라즈마 증착기에서 전극 부분에 결로 현상으로 인한 문제가 발생 할 수 있다.

특히 스퍼터 건의 파워 전달부는 결로 현상으로 인해 발생하는 문제를 찾기가 어렵다.

플라즈마 방전은 되지만, 증착 효율이 급격하게 떨어지기 때문에, 그 원인을 바로 짐작하기 어렵다.

공정 환경의 변화가 없다면, 결로 현상으로인한 파워 전달의 감소를 의심해 보아야 한다.

특히 RF 파워를 사용하는 경우 매칭점이 틀어지면서 해결 안되는 경우가 많다.

결로 현상으로 인한 문제가 의심된다면, 전극 부분을 교체 해야 한다.