멀티 QCM 센서를 사용 할 때 고려해야 하는 것

박막의 두께가 많거나, 진공상태가 중요한 박막 증착장비에서 많이 사용하는 것이 멀티 QCM 센서이다.

보통 듀얼센서를 사용하거나 6, 12개 짜리 멀티 센서를 사용한다.

거의 대부분의 박막은 듀얼센서로 커버가 되지만, 극단적인 두께를 사용하거나, 벤트가 용이하지 않은 시스템이라면, 6, 12개 그 이상의 센서가 필요 할 수도 있다.

인피콘 Crystal 12

듀얼 센서이상의 멀티 센서를 제어하는 경우 가장 중요한 고려 사항이 몇가지 있다.

우선은 가장 중요한 것이 센서의 교대 시간이 짧아야 한다는 점이다.

사람이 손으로 파워를 제어하면서 올리는 경우라면, 크게 문제 될 것은 없지만, 자동으로 증착 속도를 제어하는 경우라면, 센서의 교대 시간은 굉장히 큰 이슈가 된다. 센서 교대 시간은 차로 치면, 눈을 감고 운전하는 것과 다르지 않다. 레이트가 정상적으로 발생하지 않는 시간에 교대 시간이 길다면, 파워 조절에 실패하면서 오실레이션 심한 경우에는 발산을 하거나, 순간 강한 파워가 작동 할 수도 있다.

물론 컨트롤러의 레이트 증착 기술이 중요한 면도 있지만, 가장 기본이 되는 것은 센서 교대의 시간이 짧아야 한다.

그런면에서 모터를 사용하는 제품은 그리 좋지 않다. 구성도 복잡한 면이 있지만, 우선은 교대 시간이 생각보다 길다.

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다음으로 고려해야 하는 것은 센서의 교체편의성이다. 멀티 센서의 경우 생각보다 센서를 교체하는 것이 편하지 않을 수 있다.

물론 설치되어 있는 위치가 중요하지만, 센서 교체 자체가 그리 편하지 않다는 점은 반드시 알아야 한다.

더군다나 교체하기위해 공구가 필요하다면, 이보다 더 불 편할 수는 없을 것이다. 대부분 인치렌치를 사용해야 하기 때문에, 맞는 공구를 반드시 구비해야 하며, 설치된 위치가 좋지 않으면, 볼트나 공구가 떨어지면서 아주 불편한 경우가 많이 발생하게 된다.

마지막으로 멀티 센서와 호환 더 깊게 보아서 반드시 필요한 기능이 있는 컨트롤러와 사용해야 한다.

멀티센서에서 반드시 필요한 기능은 순간적인 센서의 공백을 적절하게 매꾸면서 파워와 레이트를 컨트롤 할 수 있는 것을 의미한다. 이러한 기능이 없는 컨트롤러는 적절한 두께의 유지가 어려울 수 있다.