CF 가스켓 재료와 플렌지를 조이는 방법

가스켓을 조이는 방법은 다음과 같다.

1. CF 플랜지를 사용하는 챔버는 볼트에 고온 고착 방지 윤활유를 사용하는 것이 좋다.
2. 200도 이상의 베이크아웃 환경에서는 은도금 볼트를 사용하는 것이 좋다.
3. 보프라기 없는 장갑과 지문등의 자연물이 묻지 않도록 주의 한다.
4. 플랜지 결합면과 엣지날을 채결 전에 반드시 확인 한다.
5. 가스켓을 홈에 반듯하게 정렬하여 채결하고, 손가락으로 단단히 조인다.
6. 십자형 패턴으로 한번에 하나씩 1/4~/1/2 바퀴를 규칙적으로 조인다.
7. 어닐링된 가스켓이나 도금된 것은 1/16로 규칙적으로 조인다.
8. 금속 대 금속이 맞다을 때까지 조인다.

 

사용하는 가스켓의 재료는 다음과 같은 것들이 있다.

 

• 구리 : 스테인리스강 CF 플렌지는 1/4의 경질의 무산소동 OFHC를 사용한다. 고진공 시스템에 일반적으로 사요한다.
• 은 및 금 도금 구리 : 고온의 베이크아웃이 빈번하게 필요한 환경이라면 도금된 구리를 사용하는 것도 좋다. 구리가 산화되면서 발생하는 문제를 방지 할 수 있다.
• 알루미늄(1100-H14) : 알루미늄 CF플렌지의 경우 알루미늄 가스켓을 사용해야 한다. 베이크 아웃 환경은 200도 정도로 제한 하는 것이 좋고, 스테인레스강 CF 플렌지에 알루미늄 가스켓을 사용할 수 있다.
• 탄화플루오르 : 빈번한 재조립이 필요한 환경이라면 이재료가 더 적합하다. 다만 UHV 환경에는 적합하지 않다.
• 니켈 : 니켈 가스켓은 부식성 환경에 사용해야 한다.