인피콘 6-QCM 두께 측정 센서 사용해 보기

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다.

선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다.

전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다.

우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요.

그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다.

이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다.

QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것?

그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다.

연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다.

가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다.

다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야 겠지요.

증착 소스와 수직으로 설치하면 좋을 것 같은데,

워낙에 설치위치가 높아져서 실용성이 떨어지더군요. 교체 할 때 힘들것 같아서 옆면으로 선택 했습니다.

그리고, 센서를 넣고 뺄때는 주의를 해야 합니다.

센서의 Leaf Spring이 변형되지 않아야 합니다.

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이게 변형되면, 센서를 교체하거나, 전용 툴 같은 걸로 보정을 해주어야 합니다.

센서를 넣고 뺄때는 도구가 필요합니다.

뽑는 도구가 따로 있다는 이야기는 잘 안빠진다는 거지요.

센서를 교체하기 전에 커버를 바깥으로 당기면 딸깍 하고 빠집니다.

다음으로 센서해드, 크리스탈 홀더안의 센서를 교체 한 후에 다시 꾹 껴주면 딸깍 거리고 껴집니다.

그리 단단하게 고정되지는 않아서 충격이 있으면 빠질 수 있으니 조심해야 합니다.

https://www.youtube.com/watch?v=cLNILmojKPc 

동작은 공압을 1초정도 넣었다가 빼주면 반을 움직입니다. 이렇게 2번을 해주면 센서가 하나 이동하게 됩니다.

회전 방향은 항상 한방향으로만 움직입니다.

문제는 현재 센서의 위치를 어떻게 확정하고, 유지 하면서 체인지를 해야 하는가 입니다.

 

좀 생각을 해봐야 겠습니다.

 

참고 매뉴얼입니다.

074-155M CrystalSix OM.pdf

3.18MB

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이게 구동해 보니까, 공압을 한 번 넣었다 빼면 반 정도 움직입니다.

2번을 해야 한칸이 갑니다.

1초이상 공압을 넣었다가, 1초 정도지연 했다가 다시 공압을 집어넣고,

보통 5초 정도의 공백기간이 발생하게 됩니다.

새로운 센서가 리딩되면서 제로링을 한 번 해주어야 합니다.

주요 목적이 진공을 깨지 않고, 안정적인 공정을 하기 위함인데, 공백기간이 생각보다 꽤 깁니다.

그리고, 얼라인이 한 번 틀어지면, 골치아픕니다.

주의 해야 합니다.

모터 구동 타입도 그렇고, 이것도 썩 마음에는 안듭니다.

다른 방법을 모색해 보아햐 하겠습니다.