이빔 증착기는 챔버 벤트를 하기 전에 시간이 많이 필요하다

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인  증착기 중에 하나이다.

주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다.

기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다.

이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다.

그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다.

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피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해도 충분히 예방 가능한 것이다.

주로, 급격한 벤트로 인해 필라멘트가 휘면서 발생하는 문제이다.

대부분은 쇼트가 나면서 과전류로 차단기가 떨어지는 현상이 관찰 된다.

간헐적으로 빔은 정상적으로 발생하지만, 특정 높은 파워의 머트리얼이 증착되지 않는 경우도 있다.

이빔 시스템에서 박막의 증착 효율에 문제가 발생하면, 가장 먼저 점검해야 하는 것이 에미터 어셈블리 파트이다.