반도체 가스의 사용에 따른 가스의 성질과 안정성 참고 자료 정리
2022. 11. 16. 08:45ㆍ엔지니어링
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반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다.
가장 중요한 것은 안전이겠지요.
자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다.
도움이 되었으면 좋겠습니다.
참고파일 1
반도체가스의_성질과_안전성-ycin6306_공정가스 추가 정리.pdf
0.32MB
참고파일 2
참고파일3
참고사이트 1
https://www.kgu.or.kr/dict/info5
한국가스연맹
한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내.
kgu.or.kr
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