플라즈마 Sheath 영역 설명

참고 사이트

https://blog.naver.com/rock0627/222485995126

2장 Vacuum and Plasma_2. Plasma 기초

스퍼터 건이나 DC 바이어스 등으로 방전을 하게 되면, 방전 소스 표면에 빛이 나지 않는 어두운 영역을 볼 수 있다.

이부분을 시스영역이라고 하는데, 스퍼터링이나 이온 에칭, PECVD 같은 공정에서는 상당히 중요한 부분이 된다.

이 부분은 플라즈마의 중성상태가 깨지면서 전위차가 존재하는 영역이고, 실제 이부분이 양이온이 가속되는 부분이라고 할 수 있다.

플라즈마가 형성되면서 전자는 양이온 보다 빠르게 이동하게 되고, -로 대전된 방전 소스 쪽으로 양이온은 전위차에 의해 가속 되게 된다. 반대로 -전자는 대전된 소스에 밀려서 더욱 멀어지게 된다.

이렇게 형성되는 부분이 시스영역이 되는 것이다.