Glancing Angle Deposition (GLAD) E-Beam System
2023. 2. 28. 09:10ㆍ엔지니어링
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참고파일, 사이트
https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200
scia Eva 200
Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config
www.scia-systems.com
http://koreavac.com/sub/product_list.php?part1_idx=1&part2_idx=5&part3_idx=15&idx=9#gu=1
코리아바큠테크
진공장비/부품/반도체장비 제조/도매/무역 등 그외 기타 특수목적용 기계 제조업체
koreavac.com
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