KRI RFICP140 Ion Source 유지 보수
2023. 3. 6. 12:35ㆍ엔지니어링
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참고 매뉴얼
KRI RFICP 140 ION SOURCE and ion optics MANUAL 9007-RF-1401_VC.pdf
1.86MB
주로 엑셀레이터 그리드에 재증착이나 에칭 등으로 발생한 파티클로 인해 쇼트가 발생하게 된다.
자주 청소를 해주어야 하는데, 분해 청소를 해주면 좋지만, 청소기로 자주 청소만 해주어도 라이프타임은 충분히 증가한다.
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