KHz 영역의 플라스마 제너레이터 참고
2023. 3. 13. 08:51ㆍ엔지니어링
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참고 사이트
http://www.ptsc.co.kr/korean/3_1_product_rf_generator.php
PTS
제품 설명 반도체/LCD/Solar cell 등의 제조 및 가공 공정의 핵심인 플라즈마 발생을 위한 RF Generator. 선택된 주파수와 원하는 파워레벨의 고주파 파형을 챔버에 전달합니다. 제품 특징 1.다양항 주파
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