조셉슨 소자 개발 장비 옥시데이션 가스라인 구성 할 때 주의 할 점

보통의 PVD 시스템은 가스라인 펌핑을 구성하지 않는다.

그러나, 산소를 이용한 리엑티브 공정을 하는 경우에는 가스라인의 배기를 구성 하는 것이 유리하다.

가스 라인에 차있는 산소의 불규칙한 양은 공정의 재현성에 영향을 줄 수 있기 때문이다.