웨이퍼 이면 압력 제어시스템 GR-300 시리즈 참고

웨이퍼의 대구경화, 가공의 미세화가 진행되는 것에 따라, 각 프로세스에 있어서의 웨이퍼위의 가공 균일성은 매우 중요한 요소가 되어 있습니다.특히 플라스마를 이용한 프로세스에 대해서는, 균일성을 높이기 위해서 웨이퍼 이면의 온도 제어를 실시할 필요가 있습니다.
 GR-300 Series는, 그 온도 제어에 불가결한 헬륨 가스나 아르곤 가스등의 전열성 가스의 압력 제어를 행하기 위한 기기로서 주목 받고 있습니다. GR-300 Series는, 폐사 Mass Flow Controller에 채용되고 있는 고속·고분해 Piezo Valve 와 Mass Flow Sensor를 탑재하고 있어, 정확·안정적으로 미세한 차압 제어를 실시할 뿐만 아니라, 유량계측기능도 가지고 있습니다.또 그 용도로서 트랜스퍼 chamber내의 진공/대기 복귀의 압력 제어나, 원자층 증착(ALD：Atomic Layer Deposition) 프로세스 등에 필요한 재료 가스의 압력 제어용 등 다방면에 걸쳐 제안 합니다.

https://www.horiba.com/kor/semiconductor/products/detail/action/show/Product/%EC%9B%A8%EC%9D%B4%ED%8D%BC%EC%9D%B4%EB%A9%B4%EC%95%95%EB%A0%A5%EC%A0%9C%EC%96%B4%EC%8B%9C%EC%8A%A4%ED%85%9C-gr-300-%EC%8B%9C%EB%A6%AC%EC%A6%88-713/

GR-300 Series

참고파일

GR-312 Reference Manual.pdf

0.15MB

GR-AE23A GR-300 (E) (2).pdf

0.52MB

I031069500B GR-312(F) (J)(E) (1).pdf

0.21MB

통신 코딩 참고