PH3 가스 건식스크러버 처리 참고

1. PH3 특징
1) 공기중에 노출 (1%이상) 되면 불이 붙을 수 있는 가연성 가스 입니다. 안전하게 처리 하기 위해서는 P2O5로 산화시켜서 배기시켜야 합니다.

2. 처리방법
1) 건식(상온) 스크러버로 흡착제를 이용하여 산화시켜 처리하는 방식이 가능합니다. 다만 가장 좋은 방법은 태워서 처리 하는 방식입니다.
2) 건식 흡착제로 하얀색 가루(P2O5)들이 농축되고, 드라이 펌프 N2 Purge로 계속 뽑으면서 농도 낮춰서 배기할 시 크게 문제 되지는 않습니다.
3) 다만, 포스핀을 고농도로 뽑으면 반응열이 높아서 Ar이나 N2로 희석시켜서 농도를 낮게 해서(예를 들어 포스핀 1sccm이면 N2 100sccm) 계속 불어넣어서 1% 미만 희석시켜 스크루버로 가서 처리하는 것이 권장됩니다. 너무 N2 농도가 높으면 차압이 걸려 역 효과가 발생하므로 주의 해야 합니다. 
4) 흡착제는 보통 1~2년 정도 사용 가능하며, 수명이 되기 전에 스크루버 inlet 주변에 파우더가 농축되므로 주의해야 합니다.
6)  처리 방법은 특수 폐기물이라 폐기물 업체에 따로 처리 해야 합니다.