Y2O3 이트륨옥사이드 박막 필름 증착 참고

이트륨 산화물은 Y 2 O 3 의 화학식을 갖는 화합물입니다 . 

흰색을 띠며 융점은 2,410°C, 밀도는 5.01g/cc, 증기압은 ~2,000°C 에서 10 -4 Torr입니다. 가장 중요한 이트륨 화합물로 간주됩니다. 이트륨 산화물은 텔레비전에서 빨간색을 제공하는 형광체를 만드는 데 사용되며 이트륨 철 가넷은 마이크로파 필터의 중요한 요소입니다. 

반도체 및 수동 부품 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다.

스퍼터 방식으로 증착이 가능하며, 리엑티브 스퍼터링으로 증착을 하기도 합니다. 최대 전력 밀도는 인치당 20W 정도입니다.

써멀 증착은 이론적으로 어렵습니다. 써멀을 사용하기 위해서는 두꺼운 텅스텐 보트를 사용하는 것이 유리합니다.

산소의 분압이 어느 정도 있어야 제대로 된 박막을 얻을 수 있습니다. 보통 5.8E-5 Torr 정도의 산소 분압이 유지 되어야 하는 것으로 알려져 있습니다.

이빔으로 증착하는 경우에는 가스 방출의 허용량을 확인 하여, 증발 온도까지 올라가는데 지속적인 모니터링이 필요하며, 조건만 잘 맞추면 비교적 증착에 어려움이 없습니다. 다만 높은 증착속도를 얻는것은 어렵습니다.

낮은 파워에서 스윕을 잘해 주어야 하며, 증착하면서도 파고 들어가는 문제가 발생하지 않도록 주의 해 주어야 합니다.

써멀과 마찬가지로 산소를 잃기 때문에 산소 분압을 유지해 주는 것이 중요합니다.

라이너는 그라파이트 라이너로 무난하게 증착이 가능하고, 소스의 양은 65~75% 정도를 유지해주어야 합니다.

소스 소모량은 650mm 떨어진 거리 기준으로 1마이크로 필름을 증착하는 경우 6.65g 정도 예상 됩니다.

증착 초반에 스플레쉬 현상이 발생하며, 구리 라이너를 사용하는 경우도 있습니다.

참고논문,   전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성, 표면공학회지 Vol44, No4, 2011