이빔으로 코발트 증착, 박막 필름 만들기 참고

코발트는 세계에서 가장 널리 알려진 금속 중 하나입니다. 밀도는 8.9g/cc, 녹는점은 1,495°C, 증기압은 1,200°C에서 10 -4 Torr입니다. 광택이 나는 단단한 금속으로 외관은 회색이며 강자성을 띠는 것이 특징입니다. 가장 널리 사용되는 용도 중 하나는 페인트, 보석, 유리에서 발견되는 파란색 안료입니다. 엔진 부품이나 절삭 공구를 만들기 위해 다른 금속과 합금되는 경우가 많습니다. 두 가지 주요 진공 응용 분야는 자기 저장 매체 생산의 강자성 층과 배터리 제조의 전환 층입니다.

코발트 기상증착을 할 때는 텅스텐, 탄탈, 몰리와 합금이 되기 때문에, 일반 써멀 증착기로는 문제가 발생하게 됩니다.

써멀로 증착 할때는 알루니마 코팅이 되있는 보트를 사용하는 것이 좋습니다. 다만, 보트의 수명은 그리 길지 않습니다. 최대 5회 미만으로 사용한다고 생각하십시오. 일정 시간이 지남에 따라 증착 속도가 감소하게 됩니다. 증착 속도를 유지하려면 많은 전력을 필요로 하게 됩니다.

이빔으로 증착하는 경우에는 적합한 라이너 재질이 없기 때문에, 히스에 직접 소스를 넣거나, 구리 라이너를 사용하는 것이 좋습니다. 그리고, 자성체 소스로 인해 이빔의 빔이 왜곡되는 현상이 있을 수 있으므로 스윕으로 스캔을 잘 해주어야 합니다.

조건만 맞으면 큰 무리없이 증착이 가능합니다.

코발트 소스를 증착 할 때는 은코팅 QCM 센서가 적합합니다.

15cc 라이너로 80% 채우는 경우, 107g 정도의 코발트가 필요합니다.

450mm 거리에 이빔으로 1마이크로미터 증착하는데, 5.662g 정도 필요하다.