인피콘 초고진공 게이지 BPG-402

2020. 2. 18. 16:29엔지니어링

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https://products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/bpg402-s/

 

BPG402-Sx ATM~초고진공 게이지 - INFICON

디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 디지털 기능 read pressure, select unit

products.inficon.com

인피콘 게이지 중에서 대기압 부터 측정이 가능하고, 고진공 영역도 무난히 측정이 가능합니다.

기존에 사용하던 MKS 게이지보다 측정 영역이 넓어서, E-9 Torr이하의 영역 측정에는 이게이지가 적당합니다.

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RS232C 통신 참고

RS232C 통신 예제

압력환산

압력 환산을 계산 하게 만들어 놓았습니다.

PLC나 이런 것으로 환산하여 표시하려면 무리가 있습니다.

결국, 무언가 옵션으로 있는 것을 사용하도록 유도 하고 있습니다.

PLC에서 직접 통신하여 처리하려면, 이더켓, 디바이스넷 등등 이런것을 사용해야 할 거 같습니다.

명령어

랩뷰 프로그램 예제

 

압력을 Torr단위로 읽어오는 명령어

dec 3 16 142 1 159 - > x03108E019F

 

명령어 Hex 변환표

BPG402S 16진수 변환표.pdf
0.13MB

매뉴얼

TINA46E1_BPG402 (all versions) Operating manual_long.pdf
1.26MB

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이온 게이지 매뉴얼로 껏다가 켜기 순서

 

프로그램시작

이온게이지 켜기

이온게이지 끄기

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