ALD 시스템에서 섭스트레이트 바이어스 파워의 효과 참고 자료
2020. 6. 16. 07:42ㆍ엔지니어링
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섭스트레이트에 바이어스 파워를 인가 했을 때 얻을 수 있는 효과 참고 자료 입니다.
참고사이트
Plasma ALD and substrate biasing
– The impact of energetic ions on film properties
“Plasma ions create electronic defects in sensitive substrates as well as generate a large electronic trap density in deposited films, especially detrimental for gate dielectric applications.” Thi
www.atomiclimits.com
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