진공 영역에 따른 주요 부하 가스(남아 있는 가스)의 종류

 진공 영역은 크게 저진공, 고진공, 초고진공으로 분류 할 수 있다. 남아있는 물질의 양과 흐름에 따라서 분류하는 것인데, 저진공과 고진공 사이에 두가지 특성이 혼재되는 중진공을 넣기도 한다. 저진공은 대기압부터 E-3 Torr 영역을 의미하며, 고진공은 ~E-8 Torr 초고지공은 그이하로 구분한다.

 주요 영역에 따라서 배기 하는 펌프를 구분 하기도 하는데, 제거하는 가스의 종류, 즉 남아있는 가스의 종류도 진공 영역에 따라서 생각해 볼 수 있다.

 대기압은 습기를 머금고 있는 공기라고 생각하면 된다. 주요 제거 물질은 물과 공기의 대부분을 차지하고 있는 질소이다. 저진공 영역은 이 두가지를 중심으로 대부분 공기에 포함되어 있는 것들을 제거하는 영역이다. 이때의 흐름은 물의 흐름과 크게 다르지 않다. 보통 점성류의 흐름이라고 생각하면 된다.

 고진공 영역에서는 마찬가지로 남아있는 물과 일산화탄소, 질소가 주요 제거 대상이다. E-9 Torr 영역까지 질소와 수소가 남아있게 되는데, 이것들을 제거해야 초고진공 영역으로 갈 수 있다.

 초고진공 영역에서는 일산화탄소와 수소가 주로 남아 있게 되고, 가장 마지막 까지 남은 잔류 가스는 수소가 될 것이다. 계속 해서 잔류 가스로 남아 있는 것은 챔버와 구성물의 표면에서 발생하는 것이기 때문에, 효율적인 제거를 위해서는 탈가스를 시켜주어야 한다. 탈가스는 주로 베이킹을 통해서 이루어 진다. 그 외에는 어느 특정 부분에 잡혀 있는 에어 포켓 부분에서 발생하게 된다. 베이킹과 에어포켓은 제거에 상당한 시간이 걸리고 쉽지 않기 때문에 구조적인 고려가 있어야 한다.