써멀 증착 시스템, Thermal Cu Deposition 사용 가능한 보트

구리는 박막 증착에서 많이 사용되는 물질 입니다.

녹는점은 1083도씨, 밀도는 8.92g/cc, 증기압은 1017도씨에서 10E-4Torr 입니다.

일반적으로 구리의 경우 접촉력이 좋지 않기 때문에, 크롬이나 타이같은 중간층이 필요합니다.

참고자료

써멀 증착을 할 때는 텅스텐이나 몰리브덴 보트를 사용합니다.

증착 소스가 많이 필요한 경우에는 알루미나 도가니와 함께 차폐형 탄탈 도가니 히터를 사용하는 것입니다.

차폐형 히터를 사용하는 경우에는 설치에 유의해야 합니다.

뒤틀리게 되면, 전극이 끊어지게 됩니다.

그밖에도 알루미나 코팅 바스켓을 사용 할 수도 있습니다.

하지만, 알루미나 코팅 바스켓의 경우 몇번 사용하다가 보면, 깨지는 현상이 발생하게 됩니다.

이러한 현상을 최소한으로 줄이기 위해서는 천천히 파워 변화를 주어야 하며, 소스를 충분히 넣고 최고 파워까지 한번 정도 천천히 올려 주어야 합니다. 남아있는 소스를 모두 소모하고, 다시 한 번 천천히 내려 줍니다. 이런 식으로 응력 스트레스에 적응을 시켜주고 나면, 균열 및 파손을 줄일 수 있습니다. 그리고, 사용하면서 될 수 있으면 잔여 소스가 남아있지 않게 하는 것이 중요합니다.

보트나 바스켓을 선택 할 때는 적절한 사용 가능 파워를 확인 해야 합니다.

참고 사이트

www.lesker.com/newweb/evaporation_sources/thermal_crucibles_boxheaters.cfm?pgid=0&highlight=evch1

Kurt J. Lesker Company

 

보트의 타입에 따른 전압과 전류가 상이하기 때문에, 보트를 선정하면서 파워사양을 반드시 확인해야 합니다.

각 보트나 히터 타입 별로 증착 가능한 증착 속도와 균일도가 달라질 수 있으므로, 적합한 증착 속도와 균일도 역시 고려 대상이 되어야 합니다.