스퍼터로 백금을 증착하면서 검은색으로 증착되는 경우 점검해야 하는것

스퍼터 시스템으로 Pt증착을 많이 합니다.

그런데, 가끔 백금 증착하면 박막이 검게 나온다는 경우가 있습니다.

이런 경우는 거의 대부분이 리크가 있는 경우입니다.

단순히 챔버의 리크만 확인하는 것이 아니라, 가스라인의 리크 확인도 해주어야 합니다.

리크가 없는 경우에도 박막이 검게 나오는 경우가 있을 수는 있습니다.

이런 경우는 챔버의 크리닝이 필요한 경우입니다.

이외에도 박막이 검게 나오는 문제가 발생하는 경우는 공정 압력을 너무 높게 하거나, 또는 플라즈마 손상을 입고 있는 경우 일 수도 있습니다.

공정압력은 10mTorr 이하로 유지하면서, 타겟과의 거리를 조금 늘려주는 것이 좋습니다.