진공 부품 선정시 고려해야 하는 것들

최첨단 반도체 산업에서 진공장비를 생각하지 않고는 이야기가 되지 않습니다.

많은 장비들이 진공을 필요로 하고, 진공상태에서 제품을 만들고 있기 때문입니다.

이런 진공 환경은 기본적으로 챔버와 펌프를 기본으로하는 배기 시스템을 요구 합니다.

그리고, 일반 환경이 아닌 진공상태에서 동작 하는 부품들이 대부분이기 때문에,

일반적인 내구성과 특성 만을 고려하게 되면, 여러가지 문제가 발생하게 됩니다.

그런면에서 진공에서 사용되는 부품들은 기본적으로 선정하기 전에 고려해야 하는 것들이 있습니다.

 

1. 적합한 기체 방출률과 이를 감소시키기 위한 전처리가 필요한가?

2. 재료의 누설률을 확인해 보았는가?

3. 재료 고유의 증기압을 확인해 보았는가?

4. 재료의 녹는점과 끊는점을 확인해 보았는가?

5. 투과 또는 반사를 이용해야 하는 경우 적합한 투과율과, 반사율을 가지고 있는지 확인해 보았는가?

6. 불순물 기체의 함유량을 확인해 보았는가?

7. 표면의 청정도 및 에너지, 공정 환경에 적합한 표면처리를 확인해 보았는가?

8. 구동 부분의 윤활 성분 필요성과, 마찰에 대한 피로도, 분진등을 확인해 보았는가?

 

이런 기본적인 것들을 확인하고, 공정에 적합한 재료인가? 에대한 심도 있는 고찰이 필요합니다.

 

적합한 진공 부품의 선정이야 말로 아주 중요한 결과물을 얻기위한 시작이자 끝입니다.