Ion Beam Neutralizer(이온빔 뉴트럴라이저) 유지 보수 내용

1. 구성 참고 사진

2. 캐소드

 문제가 발생하기 전에 캐소드를 교체하는 것은 장비 유지 보수 측면에서 중요하다. 시간이 경과하면서 가열 전류가 감소하기 시작한다. 20%에서 30% 정도 가열전류가 감소 했다면, 교체를 해주어야 한다.

 자주 교체를 해주어야 하는 상황이라면, 물론 사용빈도에 따라서 다르겠지만, 가스라인을 점검해 보는 것이 좋다. 가스 순도와 라인의 상태는 캐소드의 라이프타임에 가장 영향을 많이 주는 것이다. 그리고, 공정이 끝난 후 15분이상 가스를 흘려주면서 냉각을 시켜주는 것도 중요하다. 충분한 냉각없이 벤트를 하거나 산소에 노출을 시키게 되면, 변형 및 오염의 문제를 일으키게 된다.

3. 키퍼

 키퍼는 캐소드보다 라이프 타임이 긴 편에 속한다. 보통 가운데 있는 구멍의 크기가 커지면서 발생하게 되는데, 기본적으로 6sccm에서 시작이 되지 않는 다면 점검을 해보아야 한다.