열전도가 좋은 물질, 알루미늄 이빔으로 증착 할 때 스윕은 어떻게 해야 하는가?

2020. 11. 5. 14:08엔지니어링

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이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다.

이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다.

그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다.

일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다.

알루미늄이 대표적인 물질입니다.

알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다.

열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다.

알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.

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