로드락 챔버와 글러브 박스 결합 타입의 OLED 챔버 제작 팁

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다.

최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다.

로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다.

오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다.

샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다.

이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다.

보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다.

그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다.

대기압이상으로 압력이 걸리기 때문에 예상하지 못한 문제가 발생 할 수 있습니다.

일반 진공 챔버 보다도 스트레스가 더욱 커지기 때문에 이것에 대한 대비로 챔버의 보강도 강화해야 합니다.

유지 보수를 위한 도어의 경우에는 평상시에 사용하지 않는 부분은 볼팅을 하거나 해서 잠금을 확실하게 해주는 것도 주용합니다.

게이지 등도 압력이 과하게 걸리면, 파손되는 문제가 있을 수 있기 때문에 주의 해야 합니다.

견딜수 있는 압력이상으로 압력이 발생하면 체크 밸브 등을 설치하여 안전에 유의 하여야 합니다.