이지뷰 터치 판넬 ICP 레서피 셋업

자동 공정 레서피를 만들어 볼까 합니다.

사용하는 가스는 5개, RF파워는 위아래로 2개 각각 13.56MHz, 12.56MHz로 주파수 변조를 해서 간섭이 없게 구성합니다.

공정 압력은 최대 1Torr까지 설정 가능하게 구성합니다.

1. 시스템 파라미터 설정

시스템 파라미터의 레시피 데이터베이스를 구성합니다.

각각 필요한 아이템이름을 지정하고, 데이터 형식을 맞추어 줍니다.

크기는 구성되는 바이트 크기이고, 표시너비는 터치 화면에 얼마나 표시되는지 설정합니다.

2. PLC와 연동하다가 보면, 매크로가 필요합니다.

PLC에 설정되어 있는 데이타 확인

몇번째 레이어 인지 확인 하는 메크로

3. 데이터 전송 설정

데이터 전송 배경 설정

외부 배경 트리거 설정, 화면이 활성화 되어 있어야 구동 된다.

4. 파일 가져오기내보내기 설정

5. 레서피 파일 불러서 첨가하기

6. 레서피 파일 지우기 설정

7. 레서피 파일 불러오기

파일 디렉토리 설정

파일 저장

파일 불러오기