웨이퍼 감지용 센서로 사용 할 만 한 것

챔버 내부에 웨이퍼 감지용 센서가 필요해서 이것저것 사용해 보았는데, 이게 생각만큼 쉽지가 않더군요.

뭐 여러가지 방식과 아이디어가 존재하는 것 같습니다.

실제 해보지 않고, 참고해서 해보려니 더욱 어려운거 같습니다.

결국은 하나씩 해보고 안되는 것을 확인하는 과정이 있어야 하더군요.

 

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반사형 감지 방식은 일단 꽝입니다.

챔버가 금속이고, 반사되는 물질과, 진공 챔버의 특성상 투과되면서 발생하는 굴절 등이 일정한 상태를 유지하기 힘듭니다.

 

이것저것 해결하려면 상당한 비용이 필요합니다.

 

결국 포기....

 

 

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직접 확인 방식.

 

이것은 물리적인 접촉을 감지 하는 것인데, 구동부위에 설치하게 되면 선이 따라 움직여야 하고.

이것저것 구조물이 복잡해집니다.

 

구성하고 나서도 자잘자잘한 문제가 계속 발생합니다.

 

결국 포기...

 

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광전센서(레이저 타입)

 

결국은 이게 구성도 가장 편하고, 상태 유지에도 안정적이었습니다.

 

다만, 센서 자체의 가격이 좀 됩니다.

 

그러나, 구성 전체에 대한 비용을 비교해 본다면 오히려 싸지 않을까 생각됩니다.

 

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마지막 선택은 옴론 E3Z-LT61 2M 이었습니다.