이빔과 이온빔을 이용한 IBAD 시스템 구성하면서 주의해야 하는 것

이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다.

 

이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다.

 

작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다.

 

뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다.

 

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서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다.

 

 

이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다.

 

이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다.

 

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이 두가지 주요 부품으로 장비를 구성하는 경우 반드시 자력 차폐에 유의해야 합니다.

 

그밖에도 다른 부품이 강한 자력을 가지고 있거나, 자력에 영향을 받는 것이 있다면, 사용에 있어서 충분히 고려를 해보아야 합니다.