에이질런트 티타늄이온승화펌프(TSP) 컨트롤러 시리얼 통신

초고진공 배기 영역에서 꼭 필요한 펌프가 이온펌프 입니다.

그리고, 이온펌프에 꼭 있어야 하는 것이 TSP이고요.

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이온펌프는 여러 메이커가 있지만, 그 구조는 차이가 크게 없습니다.

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저는 주로 에이질런트 제품을 사용하는데, 에이질런트 이온펌프와 TSP 컨트롤러가 인증이 있어서 납품하고 서류 처리하는데 편하더군요. 뭐 특별히 성능면에서 고려하고 사용하지는 않았습니다. 아무래도 메이저 메이커니까 기타 다른 메이커보다 성능도 우수하다고 봅니다.

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최근에 TSP를 자동으로 동작할 필요가 있어서 프로그램을 작성하려다 보니, CRC계산을 해야 하더군요.

굉장히 불편합니다.

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그냥 켜고 끄기만 하면 되는데요.

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CRC 계산은 다음과 같습니다.

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간단한 명령어 예제를 보면,

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CRC= hADDR XOR hWINDOWS XOR hWR XOR hON XOR hETX =hB3=아스킷 코드 h42 33

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아스키 코드 테이블

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그리고, 통신을 하기전에 제공되는 APlus 프로그램으로 설정을 해주어야 합니다.

동작을 시리얼통신으로 설정해주어야 정상 동작 합니다.

통신 배선 및 설정 참고.

TSP Controller.pdf

1.44MB

통신이 안되는 문제 참고

https://forums.ni.com/t5/LabVIEW/Serial-Communication-with-Agilent-Vacuum-Pump/td-p/3156345?profile.language=ko 

Serial Communication with Agilent Vacuum Pump

 

통신이 안되는 경우

시리얼 포트 종료 문자설정이 잘못되어 있는 것이 아닌지 확인해볼것.