구리는 세계에서 가장 많이 사용되는 원소 중 하나이며, 고대부터 사용되었다는 증거가 발견되었습니다. 구리는 붉은 주황색을 띠며 녹는점은 1,083°C, 밀도는 8.92 g/cc, 증기압은 1,017°C에서 10-4 Torr 입니다. 세계에서 가장 널리 사용되는 합금 중 두 가지인 황동과 청동에는 구리가 함유되어 있습니다. 구리는 열과 전기의 우수한 도체로 알려져 있으며 전선, 동전, 전자석 등에 사용됩니다. 진공 산업은 스퍼터링 타겟에 접합되는 백킹 플레이트에 구리 소재를 크게 사용합니다. 구리는 구리 합금 및 화합물과 함께 진공 상태에서 증발시켜 반도체, 센서, 회로 장치 제조에 사용되는 층을 형성합니다.구리(Cu)의 열 증발구리는 텅스텐 또는 몰리브덴 보트에서 열 증발시킬 수 있습니다. 또는 텅스텐 ..

알루미늄이나 구리 같은 것을 스퍼터링 하다보면 뿌옇게 나오거나 변색되는 경우가 있다. 이런 경우에는 스퍼터링 되면서 발생하는 온도 요소와 산소와의 반응으로 인해 변색되거나 뿌옇게 나온다. 온도요소를 줄여야 하는데, 순간 엄청나게 빠른 속도로 증착하거나, 공정 파워를 낮추어서 여러 건으로 증착을 하거나, 히터 사용을 하지 않는 것이 좋다.