참고 사이트 신성카본 http://sscb.co.kr/?mod=document&uid=22&page_id=294 카본흑연 전문 신성카본 카본,carbon,흑연,카본도가니,흑연도가니,카본소재수입 각종형상제조 sscb.co.kr 반도체 진공장비의 고온 공정에 많이 사용되는 히터가 그라파이트 히터이다. 지금은 국산화가 많이 되고, 기술력도 쌓여서 좋은 히터가 많지만, 불과 10년 정도만 해도 변변한 국산히터가 없었다고 해도 할말이 없다. 특히나 고온 공정에 적합한 히터는 사실 지금도 어려움이 많은 것이 사실이다. 1. 그라파이트 히터는 어느 정도 고온(보통 500도 이상)에 가면 저항이 비례적으로 증가하기 시작하면서, 파워 대비 온도 변화 폭이 변하기 때문에(낮은 온도에서는 부특성 범위로 전류가 불안정하다. ..

참고 사이트 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221432019669 Heater - SiC, PBN, W, Graphite lee_jinhwan님의블로그 blog.naver.com 증착 공정에서 산소를 사용하는 경우 제약이 많이 따르게 된다. 고온에서 사용하는 경우에는 구조물들의 내구성에도 신경을 써야 한다. 히터의 라이프 타임을 연장하기 위해 고려해야 하는 내용 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/220781334638 Heater Lifetime 연장 1. KANTHAL 소재 사용 1) 열선은 열을 받으면 산화 피막을 형성하는데 이 피막이 추가적인 산회피막... blog.naver.com 그라파이트 히터와 SiC 코팅 그라파이터 히터의 ..