RF파워를 사용하면서 플라즈마를 방전시키는 시스템의 경우 노이즈 발생은 꽤나 자주 심각하게 발생하는 문제 중에 하나이다.이부분에서 생각해 보아야 하는 것이 유전율이다. 유전율과 차폐율은 밀접한 관계가 있다. 보통 RF가 샌다고 많이 이야기 하는데, 전자기파는 전기장과 자기장으로 이루어진 전자기적 파동이기 때문에, 이 파동은 자유롭게 전파 될 수 있다. 이것이 다른 디바이스에 영향을 주면서, 전기적, 자기적으로 오동작 하게 하는 것이 노이즈라고 표현 하는 것이다.이런 노이즈성 전기적 자기적 전파를 차단 하는 것을 차폐라하며, 일부 물질을 사용하여 이러한 효과를 낼 수 있다. 전자기파의 차폐는 전자기파를 차단하는 물리적 특성과 관련 되어있다. 이 특성을 나타내는 것이 바로 유전율이다.유전율은 물질내에서 전자..

진공 시스템을 잘 사용하다가, 칠러나 후드 등 3상 전원과 모터가 결합된 것을 연결하면서 문제가 발생하는 경우가 있습니다. 아래층에 공작 기계를 돌리면서 발생하는 경우도 있습니다. 처음 증상은 보통 정전되는 것처럼 문제가 발생합니다. 펌프가 갑자기 꺼지거나, 파워가 셧다운 되는 등의 현상이 관찰 됩니다. 그리고, PLC나 컴퓨터 등의 제어 부분에 문제가 발생합니다. 통신이 끊기는 경우도 있을 수 있습니다. 이런 문제는 그라운드에 문제가 발생하면서 발생하게 됩니다. 칠러나, 후드 같은 것들이 동작을 하며서 전원 노이즈를 발생시키는 경우라고 보면 됩니다. 해결 방법은 그라운드 구성을 따로 해주거나, 메인 전원과 그라운드의 구성을 확인해 보는 것이 좋습니다. 통상적인 필터로는 해결되지 않는 경우가 많습니다.