참고자료1 http://kjmm.org/journal/Figure.php?xn=kjmm-2020-58-3-207.xml&id= 1. 서 론 KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Korean Institute of Metals and Materials 10.3365/KJMM.2020.58.3.207 kjmm-2020-58-3-207 Research Paper 나노인덴테이션 방법으로 크롬 박막의 고유경도 kjmm.org KJMM Korean Journal of Metals and Materials Korean J. Met. Mater. 1738-8228 2288-8241 The Kore..

비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

이빔으로 니켈이나 백금 박막을 두껍게 올리면 챔버 벽면에 붙은 박막이 떨어지면서 분진이발생하거나, 박막이 들뜨는 곳에서 박막 필름이 날리는 현상이 발생 하는 경우가 있다. 심한 경우에는 실처럼 성장하는 경우도 있다. ---------------------------------- 이런 것을 막기 위해서는 챔버 벽면이 박막이 성장하는 부분을 샌딩처리해서 접촉을 좋게 해주는 것이 좋다. 히팅을 해주는 것도 하나의 방법이 될 수 있으나, 상당히 높은 고온을 필요로 하므로 그렇게 좋은 방법은 아니다. 여러 물질을 증착하는 경우에는 이런 현상이 비교적 감소 할 수 있으나, 니켈이나 백금 같은 단일 박막을 사용하는 챔버라면 필히 샌딩 처리를 해야 한다.

이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.