일반적으로 알려진 물질별 증착속도 참고 https://www.lesker.com/newweb/ped/rateuniformity.cfm Kurt J. Lesker Company Vacuum Science Is Our Business www.lesker.com 증착 속도를 높이기 위한 방법 1. 전력 증가: 각 재료는 재료 속성에 따라 최대 전력이 제한되지만 냉각 효율을 통해 가능한 가장 높은 전력 밀도에서 대상을 작동할 수 있습니다. 가장 먼저 해야 할 일은 볼트-온 스타일 또는 본드 타겟 구성을 활용하여 타겟 재료를 직접 냉각하는 것입니다. 이것은 전도성 페이스트 또는 에폭시의 도움에 더하여 열전도율을 최대화하고 목표 재료가 달성할 수 있는 최대 수준까지 전력 밀도를 증가시킬 수 있습니다. 2. 소스-기..

이빔 증착을 하면서 가끔 발생하는 문제중에 하나가 spit 현상입니다. 보통 용접 불꽃이 튀어 올라가는 것처럼 보이는 경우가 많습니다. 특히, 니켈이나 PT 소스를 처음 녹일 때 많이 볼 수 있습니다. 이러한 spit 현상은 소스가 다공성 공극을 포함하거나 산소를 많이 포함하고 있는 경우 발생 할 수 있습니다. 소스가 가열되면서 소스에 붙어있거나 특정 공간에 포함되어 있던 가스들이 순간적으로 방출되는 것입니다. 이러한 현상이 있는 상태에서 박막을 제조하면, 제대로 된 박막을 얻을 수 없습니다. 이것을 방지하기 위해서는 sock 시간을 충분히 주고, 소스를 한 번에 녹이지 않아야 합니다. 그리고, 소스를 제조하면서 고온 고밀도의 방식으로 제조한 것을 사용하는 것이 하나의 방법입니다. 이빔 공정을 하기전에 ..