써멀 증착 시스템, Thermal Cu Deposition 사용 가능한 보트

구리는 박막 증착에서 많이 사용되는 물질 입니다. 녹는점은 1083도씨, 밀도는 8.92g/cc, 증기압은 1017도씨에서 10E-4Torr 입니다. 일반적으로 구리의 경우 접촉력이 좋지 않기 때문에, 크롬이나 타이같은 중간층이 필요합니다. 참고자료 써멀 증착을 할 때는 텅스텐이나 몰리브덴 보트를 사용합니다. 증착 소스가 많이 필요한 경우에는 알루미나 도가니와 함께 차폐형 탄탈 도가니 히터를 사용하는 것입니다. 차폐형 히터를 사용하는 경우에는 설치에 유의해야 합니다. 뒤틀리게 되면, 전극이 끊어지게 됩니다. 그밖에도 알루미나 코팅 바스켓을 사용 할 수도 있습니다. 하지만, 알루미나 코팅 바스켓의 경우 몇번 사용하다가 보면, 깨지는 현상이 발생하게 됩니다. 이러한 현상을 최소한으로 줄이기 위해서는 천천히 ..

2020.10.06