1. PH3 특징 1) 공기중에 노출 (1%이상) 되면 불이 붙을 수 있는 가연성 가스 입니다. 안전하게 처리 하기 위해서는 P2O5로 산화시켜서 배기시켜야 합니다. 2. 처리방법 1) 건식(상온) 스크러버로 흡착제를 이용하여 산화시켜 처리하는 방식이 가능합니다. 다만 가장 좋은 방법은 태워서 처리 하는 방식입니다. 2) 건식 흡착제로 하얀색 가루(P2O5)들이 농축되고, 드라이 펌프 N2 Purge로 계속 뽑으면서 농도 낮춰서 배기할 시 크게 문제 되지는 않습니다. 3) 다만, 포스핀을 고농도로 뽑으면 반응열이 높아서 Ar이나 N2로 희석시켜서 농도를 낮게 해서(예를 들어 포스핀 1sccm이면 N2 100sccm) 계속 불어넣어서 1% 미만 희석시켜 스크루버로 가서 처리하는 것이 권장됩니다. 너무 N2..

반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다. 가장 중요한 것은 안전이겠지요. 자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다. 도움이 되었으면 좋겠습니다. 참고파일 1 참고파일 2 참고파일3 참고사이트 1 https://www.kgu.or.kr/dict/info5 한국가스연맹 한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내. kgu.or.kr 가스의 분류