함침 그라파이트 라이너 사용을 위한 가이드 l  그라파이트 라이너는 높은 내열성과, 내화학성, 전도성, 비용의 효율성과 같은 장점으로 이빔 증착기의 라이너로 많이 사용 됩니다.반면에 그라파이트 라이너는 다음과 같은 단점이 있습니다.1.     흡착 및 오염의 가능성그라파이트는 다공성 특성이 있어서 일부 재료가 표면에 흡착 될 수 있습니다.2.     증착층의 순도 저하 가능성그라파이트의 일부 입자가 증착 공정 중에 표면에서 떨어져 나가면서 증착되는 면에 불순물로 작용 할 수 있습니다.3.     산화 문제산화성 환경에서 고온으로 노출되면 산화될 가능성이 있습니다. 이때 CO, CO2 가스가 발생할 수 있고, 진공 시스템에 영향을 주는 경우가 있습니다. l  그라파이트 함침(graphite impregna..

요즘 귀금속, 특히 금이나 Pt, 팔라듐 같은 소스와 희귀 금속의 값이 천정지부로 솓구치고 있다.이런 증착 소스의 비용 증가는 박막을 증착하는 사용자에게 큰 부담으로 다가 오고 있다.그래서, 최근에는 소스의 소모량을 줄이고, 쉴드 커버등의 크리닝을 통한 회수양의 증가와 편이성을 고려하기도 한다.무엇보다도 한번에 채워 넣는 소스양과 비용에 부담을 많이 느끼기 때문에, 15cc이상의 이빔을 사용하는 경우에는 라이너의 내부크기를 조절해서 소스 충전양을 줄이기도 한다.가장 손쉽게 줄이는 방법은 내부의 소스 들어가는 부분을 줄이는 것이다.규격대로 축소한다면 다음의 표를 따르면 된다.하지만 물질에 따라서 스윕이 중요한 경우에는 특별히 깊이를 줄이고, 넓게 소스를 퍼지게끔 하기도 하고,스윕없이 포인트 스팟으로 증착을..