백금의 일반적인 물질 특성과 응용 백금은 주기율표에 있는 9개의 귀금속 중 하나입니다. 녹는점은 1,772°C, 밀도는 21.4g/cc, 증기압은 1,747°C에서 10 -4 Torr입니다. 팔라듐과 매우 유사한 빛나는 은백색 금속입니다. 밀도가 높고, 가단성이 있고, 연성이며, 공기 중에서 부식에 강합니다. 가장 눈에 띄는 상업적 응용 분야는 차량의 촉매 변환기입니다. 백금은 반도체, 연료전지, 배터리 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다.기상증착시스템에서, 보트는 텅스텐을 기본으로 사용하고, 이빔라이너는 그라파이터 라이너로 시작합니다.타 금속과 합금에 주의해야 하고, 부드럽고 접촉력이 좋지 않아서 박막으로 만들기에 쉽지는 않습니다.써멀증착...백금의 써멀 증착은 매우 어렵습니다. 백금을 증발시키는 데..

이빔 장비에서 초점이 2군데 맺히는 경우가 있다. 이런 경우에는 마그네틱 필드의 초점을 조절하는 폴피스에 문제가 있을 가능성이 많다. 폴피스의 얼라인이 틀어지거나, 자성체 등으로 코팅이 되는 경우를 의심해 보아야 한다. 이때 조심해야 하는 것은 폴피스를 본체에서 절대 때지 않는 것이다. 가끔 폴피스가 떨어졌다가 붙으면 원래의 자성이 틀어지는 경우가 있다. 이경우 이빔이 가운데 들어오지 않는 문제가 있다. 주의 해야 한다. 거의 대부분은 폴피스가 풀리거나 해서 얼라인이 틀어진 경우이기 때문에 반듯하게 맞추어주면 해결되는 경우가 많다.

참고파일, 사이트 https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200 scia Eva 200 Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config www.scia-systems.com http://koreavac.com/sub/pro..

이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.