스퍼터 세라믹 타겟을 사용하다가 보면, 본딩재료인 인듐이 녹아서 나오는 경우가 있다. 인듐이 녹아서 나온다는 것은 냉각에 문제가 있다는 것을 의미한다. 본딩 자체가 잘못되어서 나오는 경우도 있는데, 인듐을 너무 많이 넣은 경우 이런 문제가 발생 할 수 있다. 그러나, 보통의 업체에서 이러한 실수를 하는 경우는 드물다. 인듐이 녹아서 나오는 가장 주요한 원인은 스퍼터 건에 필요한 냉각수가 용량, 또는 온도가 충분하지 않은 경우가 대부분이다. 냉각수에 문제가 있으면, 낮은 녹는점을 갖고 있는 인듐은 버티지 못하고 녹아서 흘러 내리게 된다. 그러면서 건과의 절연이 깨지면서 문제가 생기게 된다. 냉각 용량이 충분한 경우에도 이러한 문제가 발생 할 수 있는데, 주로 세라믹 타겟에서 많이 발생 할 수 있다. 열전도..

스퍼터 타겟을 본딩하는데 적당한 물질로는 인듐이 있다. 인듐은 정방정계결정구조를 갖고 있는 물질이다. 평면에서 쌍을 이루거나 미끄러질 수 있다. 이것은 인듐이 Z 또는 수평 방향으로 분리되지 않고 측면으로 이동 할 수 있는 특징이 있음을 의미한다. 이러한 물리적 특성은 두가지 서로 다른 물질을 부착 시켰을 때, 개별 팽창 계수를 기준으로 부착면에서 서로 다른 팽창 및 수축을 할 수 있다는 것을 의미하기도 한다. 이러한 특징은 재료에 높은 응력이나 변형을 유발하지 않기 때문에 부착되어 있는 물질의 파손, 균열, 변형을 방지 할 수 있는 것이다. 스퍼터의 구조상 백플레이트 냉각 면과 증착 타겟의 표면이 플라즈마의 에너지로 인해 스트레스 받는 것을 생각한다면, 이러한 인듐의 특성은 아주 유용한 것이다. 그리고..