1. 전체 공정 온도 범위안에서 충분한 기계적 강도를 가지고 있는가? 구조적 완전함 이외에도 가동되는 표면의 변형이 기능에 영향을 주지 않는지 확인해야 합니다. 진공상태에서 구동되는 부품은 압력의 차이로 인한 기계적 부하와 방향성, 그리고 이것을 보완하기 위한 그리즈등의 보조 물품의 사용에 제약이 있기 때문에 마찰 등이 크게 증가하게 됩니다. 2. 높은 기체의 기밀성을 가지고 있는가? 각 재료는 기본적으로 기체가 침투할 수 있습니다. 기체 침투성의 전체 공정을 침투라 부릅니다. 이것은 재료, 기체의 유형, 주변 조건 특히 온도에 따라 달라집니다. 침투성은 탄성 중합체 실을 사용하여 판단해야 합니다. 3. 낮은 내재 증기압과 높은 용융점, 비등점 등의 물성을 갖고 있는가? 너무 높은 내재 증기압은 최종 진..

진공부품 참고 자료 1

부품 참고 자료 한쪽은 회전플렌지로 만들어야 상품으로 가치가 있다. 참고자료

참고 자료 https://kr.rigaku-mechatronics.com/technology/ 자성 유체 씰의 특성 | 리가꾸메카트로닉스 (주) 자성유체 씰이란 무엇인가? 자성 유체 씰 은 액체나 기체의 누출을 방지하기 위해 사용되는 부품이며 하나의 씰 입니다. 자성 유체 씰은 “자성 유체”라는 자석 쪽으로 끌리는 이상한 액체 자기장으로 유지되는 성질을 이용하여 액체와 베어링을 같이 조합밀봉하여 제작한 회전용 씰 뉴-닛 입니다. 자성 유체의 성분과 재질에 대해 관심을 갖고 계신 고객은 자성 유체 란? 에 자세한 설명이 되어 있습니다. 씰 (밀봉유닛)에는 다양한 종류 · 특징 들이 있습니다. 씰의 kr.rigaku-mechatronics.com 자성 유체 씰 은 액체나 기체의 누출을 방지하기 위해 사용되는..

최첨단 반도체 산업에서 진공장비를 생각하지 않고는 이야기가 되지 않습니다. 많은 장비들이 진공을 필요로 하고, 진공상태에서 제품을 만들고 있기 때문입니다. 이런 진공 환경은 기본적으로 챔버와 펌프를 기본으로하는 배기 시스템을 요구 합니다. 그리고, 일반 환경이 아닌 진공상태에서 동작 하는 부품들이 대부분이기 때문에, 일반적인 내구성과 특성 만을 고려하게 되면, 여러가지 문제가 발생하게 됩니다. 그런면에서 진공에서 사용되는 부품들은 기본적으로 선정하기 전에 고려해야 하는 것들이 있습니다. 1. 적합한 기체 방출률과 이를 감소시키기 위한 전처리가 필요한가? 2. 재료의 누설률을 확인해 보았는가? 3. 재료 고유의 증기압을 확인해 보았는가? 4. 재료의 녹는점과 끊는점을 확인해 보았는가? 5. 투과 또는 반사..