크라이오 펌프는 리제너레이션이라는 과정이 주기적으로 필요한 진공 펌프 입니다. [크라이오 펌프 리제너레이션 과정] 제조사와 모델별로 리제너레이션이 차이가 있는 경우는 있지만, 기본적인 승온, 퍼지, 펌핑은 모두 같습니다. 리제너레이션을 통해 펌프 내부에 흡착되어 있던 가스를 탈기 시켜서 펌핑 능력을 회복하는 과정을 리제너레이션이라고 생각하면 될 것 같습니다.

크라이오 펌프는 냉각 응축(cryocondensation)과 냉각 흡착(cryosorption)을 이용하여 챔버를 진공으로 만드는 펌프이다. 크라이오 펌프는 크게 2게의 스테이지로 구성되는데, 보통 1단의 온도가 100K이하, 2단의 온도가 10K 이하로 내려가면서 대부분의 가스를 냉각응축하여 포집하게 된다. 다만, 2단의 온도가 10K이하인 영역에서도 질량이 작은 수소, 헬륨, 네온 등의 타입3 가스들은 증기압이 높아서 극한의 온도에서도 응축을 이용하여 진공을 만드는 것에는 한계가 있다. 따라서 이러한 부류의 가스들은 다공정 물질(charcoal이라 불리는 활성탄)을 이용하여 냉각 흡착하는 방식으로 가스를 포집 진공상태를 만들게 된다. 냉각흡착은 보통 2단 어레이에 구성되며, 구성 물질인 활성탄은 스폰..