진공 영역에 따른 주요 부하 가스(남아 있는 가스)의 종류

진공 영역은 크게 저진공, 고진공, 초고진공으로 분류 할 수 있다. 남아있는 물질의 양과 흐름에 따라서 분류하는 것인데, 저진공과 고진공 사이에 두가지 특성이 혼재되는 중진공을 넣기도 한다. 저진공은 대기압부터 E-3 Torr 영역을 의미하며, 고진공은 ~E-8 Torr 초고지공은 그이하로 구분한다. 주요 영역에 따라서 배기 하는 펌프를 구분 하기도 하는데, 제거하는 가스의 종류, 즉 남아있는 가스의 종류도 진공 영역에 따라서 생각해 볼 수 있다. 대기압은 습기를 머금고 있는 공기라고 생각하면 된다. 주요 제거 물질은 물과 공기의 대부분을 차지하고 있는 질소이다. 저진공 영역은 이 두가지를 중심으로 대부분 공기에 포함되어 있는 것들을 제거하는 영역이다. 이때의 흐름은 물의 흐름과 크게 다르지 않다. 보통..

2020.05.22