1. 압력에 대한 경고크라이오 펌프는 펌프 내부에 대량의 응축성 기체를 저장하고 있습니다. 따라서 밀폐 된 상태의 크라이오 펌프를 승온 시키는 경우에는 내부의 압력이 크게 상승하여 폭발의 위험성이 있습니다. 폭발을 방지하기 위해 크라이오 펌프는 약 10KPa~20KPa에서 완전히 열리는 체크 감압 밸브가 설치 되어 있습니다. 크라 이오 펌프를 안전하게 사용하기 위해서는 다음 사항을 준수 해야 합니다.• 감압 밸브를 차단하지 않는다. • 감압 밸브의 스프링을 강화하지 않는다. • 펌핑 용도로 사용하지 않는다. • 감압 밸브를 배기 라인에 연결한다. • 크라이오 펌프 재생 등을 진행하면서 감압 밸브를 청소한다. • 유독 가스를 사용하는 경우 적절한 처리 시설로 이어지는 배기관을 감압 밸브에 설치하여 누설을 ..

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 ＣＲＹ..

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..

크라이오펌프로 챔버를 펌핑하는 경우에는 대기압부터 바로 크라이오를 이용해 펌핑을 할 수 없습니다. 일반적으로 저진공 펌프를 이용하여 적당한 진공을 만든후에, 중고진공 펌핑을 시작합니다. 크라이오를 이용하여 펌핑을 시작하는 압력은 챔버의 크기 및 챔버의 펌핑라인 구조에 따라 차이가 있습니다. 다만, 일반적인 펌핑 시작 압력은 9.00E-2 Torr 정도에서 하는 것이 이런저런 사정 보지 않고 사용하기에 적합합니다. 크라이오펌프로 펌핑을 할 때는 크라이오 펌프의 온도를 잘 살펴볼 필요가 있습니다. 보통 펌핑을 시작하면서 온도가 상승하게 되는데, 이때 온도가 50K를 넘어가 버리면 펌핑 능력을 상실 하는 경우가 많습니다. 이것은 펌프의 용량과 챔버의 크기, 컨덕턴스가 많은 영향을 줍니다. 현장에서 제가 적용 ..

크라이오 펌프는 리제너레이션이라는 과정이 주기적으로 필요한 진공 펌프 입니다. [크라이오 펌프 리제너레이션 과정] 제조사와 모델별로 리제너레이션이 차이가 있는 경우는 있지만, 기본적인 승온, 퍼지, 펌핑은 모두 같습니다. 리제너레이션을 통해 펌프 내부에 흡착되어 있던 가스를 탈기 시켜서 펌핑 능력을 회복하는 과정을 리제너레이션이라고 생각하면 될 것 같습니다.

크라이오 펌프는 냉각 응축(cryocondensation)과 냉각 흡착(cryosorption)을 이용하여 챔버를 진공으로 만드는 펌프이다. 크라이오 펌프는 크게 2게의 스테이지로 구성되는데, 보통 1단의 온도가 100K이하, 2단의 온도가 10K 이하로 내려가면서 대부분의 가스를 냉각응축하여 포집하게 된다. 다만, 2단의 온도가 10K이하인 영역에서도 질량이 작은 수소, 헬륨, 네온 등의 타입3 가스들은 증기압이 높아서 극한의 온도에서도 응축을 이용하여 진공을 만드는 것에는 한계가 있다. 따라서 이러한 부류의 가스들은 다공정 물질(charcoal이라 불리는 활성탄)을 이용하여 냉각 흡착하는 방식으로 가스를 포집 진공상태를 만들게 된다. 냉각흡착은 보통 2단 어레이에 구성되며, 구성 물질인 활성탄은 스폰..