크라이오펌프로 펌핑을 시작 하는 경우 적당한 챔버 진공도

크라이오펌프로 챔버를 펌핑하는 경우에는 대기압부터 바로 크라이오를 이용해 펌핑을 할 수 없습니다.

 

일반적으로 저진공 펌프를 이용하여 적당한 진공을 만든후에, 중고진공 펌핑을 시작합니다.

 

크라이오를 이용하여 펌핑을 시작하는 압력은 챔버의 크기 및 챔버의 펌핑라인 구조에 따라 차이가 있습니다.

 

다만, 일반적인 펌핑 시작 압력은 9.00E-2 Torr 정도에서 하는 것이 이런저런 사정 보지 않고 사용하기에 적합합니다.

 

 

크라이오펌프로 펌핑을 할 때는 크라이오 펌프의 온도를 잘 살펴볼 필요가 있습니다.

 

보통 펌핑을 시작하면서 온도가 상승하게 되는데, 이때 온도가 50K를 넘어가 버리면 펌핑 능력을 상실 하는 경우가 많습니다.

 

이것은 펌프의 용량과 챔버의 크기, 컨덕턴스가 많은 영향을 줍니다.

 

현장에서 제가 적용 할 때는 50K를 기준으로 잡기보다는 20K 정도로 기준을 잡아서 적용합니다.

 

 

크린룸의 경우 저진공펌프가 챔버와 멀리 떨어져 있는 경우가 많기 때문에, 저진공 펌핑에 시간이 많이 걸리게 되고, 될 수 있으면 시간을 줄이기 위해 빨리 메인 밸브를 여는 경우가 많습니다.

 

이때 기준점은 상승하는 온도를 기준으로 압력을 설정해 주는 것이 좋습니다.