참고 사이트 http://www.ptsc.co.kr/korean/3_1_product_rf_generator.php PTS 제품 설명 반도체/LCD/Solar cell 등의 제조 및 가공 공정의 핵심인 플라즈마 발생을 위한 RF Generator. 선택된 주파수와 원하는 파워레벨의 고주파 파형을 챔버에 전달합니다. 제품 특징 1.다양항 주파 www.ptsc.co.kr