CVD 장비를 안전하게 사용하기 위한 대비
CVD, 화학기상증착 장비는 박막 제조 장비로서 많이 사용됩니다. 화학적 반응을 이용하다보니, 안전상 문제가 발생하는 경우도 많이 있습니다. 특히, 사용자의 부주의나 무관심, 무지로 인해 발생하는 문제가 대부분입니다. CVD 장비를 안전하게 사용하기 위해서는 기본적으로 발화, 독성, 분진 등에대한 대비를 해야 합니다. 사용하는 물질의 정보와 특성을 잘 알고 있어야 하며, 반응으로 인해 생성되는 물질에 대한 특성과 그것에 대한 정보를 반드시 숙지하고 있어야 합니다. 작업하는 사람은 방진 마스크, 배기 장치, 보안경 등의 안전 장비를 구비하고 작업을 해야 합니다. 가장 기본적인 것이지만, 생각만으로는 지켜지지 않습니다. 행동하고, 사용 할 수 있도록 준비가 되어 있어야 합니다. CVD 장비의 챔버를 개방하는..
2018.07.04