CVD 장비를 안전하게 사용하기 위한 대비

CVD, 화학기상증착 장비는 박막 제조 장비로서 많이 사용됩니다.

화학적 반응을 이용하다보니, 안전상 문제가 발생하는 경우도 많이 있습니다.

특히, 사용자의 부주의나 무관심, 무지로 인해 발생하는 문제가 대부분입니다.

CVD 장비를 안전하게 사용하기 위해서는 기본적으로 발화, 독성, 분진 등에대한 대비를 해야 합니다.

사용하는 물질의 정보와 특성을 잘 알고 있어야 하며, 반응으로 인해 생성되는 물질에 대한 특성과 그것에 대한 정보를 반드시 숙지하고 있어야 합니다.

작업하는 사람은 방진 마스크, 배기 장치, 보안경 등의 안전 장비를 구비하고 작업을 해야 합니다.

가장 기본적인 것이지만, 생각만으로는 지켜지지 않습니다.

행동하고, 사용 할 수 있도록 준비가 되어 있어야 합니다.

CVD 장비의 챔버를 개방하는 경우에는 불활성화 처리를 반드시 해주어야 합니다.

챔버 내부를 청소, 세정하는 경우에는 분진 발생으로 인한 위험을 피하기 위해 불연성 용제, 순수한 물 계통의 세정제, Methylene chloride 같은 것을 사용합니다. 그리고, 분진이 발생하지 않도록 용제로 적신 상태에서 작업을 하는 것이 좋습니다. 일부 물질에서는 마찰에 의한 분진이 발화하는 경우도 있을 수 있습니다.

진공 펌프의 배관 계통을 청소해야 하는 경우에는 미지근한 물로 세정작업을 해주는 것이 좋습니다.

CVD 장비는 공정이 진행 된 후 배기되는 가스를 후처리 해주어야 합니다. 챔버, 배기 계통 등을 청소, 세정 작업 한 후 배기를 하는 경우에는 공기가 후 처리 장치, 스크러버, 기타 환기 장체에 유입되면서 발화, 폭발 하지 않도록 주의 해서 배기 해주어야 합니다.

보통 청소, 세정 작업 후에는 챔버 내부에 N2 가스를 유입시키면서 공기와 치환하여 배기 해주는 것이 안전합니다.